奥林巴斯OLS5100激光共聚焦显微镜

适用于故障分析和材料工程研究的奥林巴斯OLS5100激光显微镜将测量精度和光学性能与智能工具相结合,让显微镜更加方便使用。通过快速高效精确测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。

  • 品牌: 奥林巴斯/OLYMPUS
  • 型号: OLS5100
  • 类型: 金相显微镜

LEXT? OLS5100 3D激光扫描显微镜

用于材料分析的激光显微镜

更智能的工作流程,更快速的实验设计

适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将测量精度和光学性能与智能工具相结合,让显微镜更加方便使用。通过快速高效精确测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。

奥林巴斯显微镜

保证测量准确度

LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)搭配使用,就可获得可靠的高精度数据。

有保证的测量准确度*

奥林巴斯的光学器件能够以更低像差在整个视场中捕捉样品的真实形貌

智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量

奥林巴斯显微镜


*本网页上包括保证的准确度在内的信息基于奥林巴斯设定的条件。



型号OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
总倍率54x–17,280x
视场16 μm–5,120 μm
测量原理光学系统反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
颜色
彩色DIC
光接收元件激光:光电倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相机
高度测量显示分辨率0.5 nm
动态范围16位
重复性σn -1*1 *2 *55X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X:0.03 μm, 50X:0.012 μm, 100X:0.012 μm
准确度*1 *3 *50.15 + L / 100μm(L:测量长度[μm])
拼接图像准确度*1 *3 *510X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])
测量噪声(Sq噪声)*1 *4 *51 nm(典型值)
宽度测量显示分辨率1 nm

重复性3σn-1  *1 *2 *55X:0.4 μm, 10X:0.2 μm, 20X:0.05 μm, 50X:0.04 μm, 100X:0.02 μm

准确度*1 *3 *5测量值+/- 1.5%

拼接图像准确度*1 *3 *510X:24+0.5L μm, 20X:15+0.5L μm, 50X:9+0.5L μm, 100X:7+0.5L μm (L:拼接长度[mm])
单次测量时最大测量点数量4096 × 4096像素
最大测量点数量3600万像素
XY载物台配置长度测量模块?不适用不适用?
工作范围100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动
最大样品高度100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)30 mm (1.2 in.)30 mm (1.2 in.)210 mm (8.3 in.)
激光光源波长405 nm
最大输出0.95 mW
激光等级2级(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源白光LED
电气功率240 W240 W278 W240 W
质量显微镜主体约 31 kg约 32 kg约 50 kg约 43 kg
控制箱约 12 kg



*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证(温度:20?C±1?C,湿度:50%±10%),如ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)所规定。

*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。

*3 在使用专用LEXT物镜测量时。

*4使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。

*5 基于奥林巴斯认证系统下的保证。


物镜

系列型号数值孔径
(NA)
工作距离(WD)
(mm)
UIS2物镜MPLFLN2.5x0.0810.7
MPLFLN5x0.1520
专用LEXT物镜(10X)MPLFLN10xLEXT0.310.4
专用LEXT物镜(高性能型)MPLAPON20xLEXT0.61
MPLAPON50xLEXT0.950.35
MPLAPON100xLEXT0.950.35
专用LEXT物镜(长工作距离型)LMPLFLN20xLEXT0.456.5
LMPLFLN50xLEXT0.65.2
LMPLFLN100xLEXT0.83.4
超长工作距离物镜SLMPLN20x0.2525
SLMPLN50x0.3518
SLMPLN100x0.67.6
适用于LCD样品的长工作距离物镜LCPLFLN20xLCD0.458.3-7.4
LCPLFLN50xLCD0.73.0-2.2
LCPLFLN100xLCD0.851.2-0.9


应用软件


标准软件OLS51-BSW
数据采集app分析应用程序(简单分析)
电动载物台套件应用*1OLS50-S-MSP
高级分析应用*2OLS50-S-AA
薄膜厚度测量应用OLS50-S-FT
自动边缘测量应用OLS50-S-ED
颗粒物分析应用OLS50-S-PA
智能实验管理助手应用OLS51-S-ETA
球体/圆柱体表面角度分析应用OLS50-S-SA

*1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。

*2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。

客服热线

工作时间9:00-17:00
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